В книге рассмотрены математические модели интегральных микротехнологий, приборов и схем; описаны основные принципы построения моделей; технологических, физико-топологических, схемных, элементно-фрагиеитпых и методы ндентнфнкацни их параметров; рассмотрены основы математического обеспечения численного расчета Б